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超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例
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超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例

主要用于儲(chǔ)罐頂部氮?dú)鈮毫愣刂疲员Wo(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲(chǔ)罐安全。氮封閥由ZZDQ快速泄放閥及ZZV自力式微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成。快速泄放閥由壓力控制器及ZMQ-16K型單座切斷閥組成。儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮?dú)狻R蛭赫{(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)壓力較高,必須安裝ZZYP型壓力調(diào)節(jié)閥將壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設(shè)定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質(zhì)溫度溫度≤80℃。
現(xiàn)已 用于連續(xù)送氣的天然氣采輸,城市煤氣以及冶金、石油、化工等工業(yè)生產(chǎn)部門。氮?dú)庠诔r下是一種無(wú)色無(wú)味的氣體,占空氣體積分?jǐn)?shù)約78%(氧氣約21%)。熔點(diǎn)是63K,沸點(diǎn)是77K,臨界溫度是126K,難于液化。溶解度很小,常壓下在283K時(shí)一體積水可溶解0.02體積的氮?dú)狻?br/>玻璃鋼氮封水箱主要用于儲(chǔ)罐頂部氮?dú)鈮毫愣刂疲员Wo(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲(chǔ)罐安全。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成。快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成。

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超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例

儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮?dú)狻R蛭赫{(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設(shè)定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質(zhì)溫度溫度≤80℃。
超純水氮封水箱是一種用于存儲(chǔ)高純度化學(xué)試劑、電子元器件以及其他敏感物質(zhì)的設(shè)備。它采用特殊的密封技術(shù)和高效的過(guò)濾系統(tǒng),可以將內(nèi)部空氣和水分子凈化佳的純度,并在箱體內(nèi)注入氮?dú)猓纬煞€(wěn)定的惰性氣氛,從而有效地防止物質(zhì)受到空氣、水分或其他不純雜質(zhì)的污染和氧化。超純水氮封水箱在科研實(shí)驗(yàn)、制藥生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

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空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),一旦超純水與空氣接觸,就會(huì)使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ.cm左右,因此超純水的儲(chǔ)存容器需確保水體與空氣的接觸。
指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥(這里簡(jiǎn)稱供氮閥)和自力式微壓調(diào)節(jié)閥(簡(jiǎn)稱泄氮閥)兩大部份組成。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高超過(guò)設(shè)定值時(shí),供氮閥關(guān)閉,泄氮閥打開(罐頂未設(shè)呼吸閥,或呼吸閥故障打不開),將罐內(nèi)多余壓力泄放。在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),泄氮閥處于關(guān)閉狀態(tài),供氮閥打開,向罐內(nèi)注氮?dú)狻9┑y閥前壓力最好在1.0Mpa以下,現(xiàn)場(chǎng)壓力較高時(shí),可在供氮閥前安裝一只ZZYP型自力式壓力調(diào)節(jié)閥將壓力減至。1.0 Mpa以下,以提高可靠性和使用效果。
原水箱→原水泵→機(jī)械過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→阻垢劑裝置→保安過(guò)濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透裝置→一級(jí) RO 水箱→二級(jí)高壓泵混→二級(jí)反滲透裝置→二級(jí) RO 水箱→EDI 增壓泵→紫外線殺菌器→EDI 前置過(guò)濾器→EDI 裝置→氮封水箱→TOC 殺菌器→拋光混床→微孔過(guò)濾→用水點(diǎn)

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在水箱上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ獨(dú)馐嵌栊詺怏w能防上CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。超純水在空氣中如果被二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)污染,其作為純度的溶劑對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)。故一旦超純水與空氣接觸,就會(huì)使其電阻率迅速下降。
超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi),水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa,氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),故一旦超純水與空氣接觸,就會(huì)使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ·m,3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ·m左右,因此超純水的儲(chǔ)存容器需確保水體不與空氣的接觸。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥49.jpg

超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例的工作原理:
超純水設(shè)備的氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi),水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa,氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮?dú)狻R蛭赫{(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。
壓力可按要求分段設(shè)定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。
微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如:3Kpa。
泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如:8Kpa。
具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。
氮?dú)?(N2)的純度為99.999%以上。

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超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例處理超純水與空氣接觸的方法:
充氮法:即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。
薄膜袋法:即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。    
浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會(huì)。

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超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例 產(chǎn)品特點(diǎn)

(1)無(wú)需外加能源,能在無(wú)電、無(wú)氣的場(chǎng)合工作,既方便又節(jié)約能源,降低成本。
(2)氮封裝置供氮,泄氮壓力設(shè)定方便,可在連續(xù)經(jīng)營(yíng)的條件下進(jìn)行。
(3)壓力檢測(cè)膜片有效面積大,設(shè)定彈簧剛度小、動(dòng)作靈敏、裝置工作平衡。
(4)采用無(wú)填料設(shè)計(jì),閥桿所受磨擦力小、反應(yīng)迅速、控制精度高。
(5)供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達(dá)100:1,減壓效果好、控制精度高。
(6)為確保儲(chǔ)罐的安全,需在罐頂設(shè)置呼吸閥。
(7)呼吸閥公起安全作用,避免了常規(guī)氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。

氮封閥002.jpg

超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例

序號(hào)

 

型 號(hào) 及 規(guī) 格

單位

數(shù)量

1

氮封閥

氮封閥ZZYVP DN32 PN16

介質(zhì):氮?dú)?/span>

進(jìn)口壓力 0.3-0.6 MPA,

出口壓力0.8KPA

法蘭類型HGT 20592 PN16

螺絲孔中心距100MM

4個(gè)螺絲孔,螺絲孔大小18MM

臺(tái)

1

2

泄氮閥

泄氮閥ZXD-16   DN32    PN16

起跳壓力1.5 KPA

法蘭連接

法蘭類型HGT 20592 PN16

螺絲孔中心距100MM

4個(gè)螺絲孔,螺絲孔大小18MM

臺(tái)

1

3

呼吸閥

呼吸閥 CFQ DN32 PN16

介質(zhì):氮?dú)?/span>

法蘭類型HGT 20592 PN16   DN32

螺絲孔中心距100MM

4個(gè)螺絲孔,螺絲孔大小18MM

呼氣壓力:2Kpa

吸氣壓力:-298 pa

臺(tái)

1

三、超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例 主要技術(shù)參數(shù)

氮封系統(tǒng).jpg

公稱通徑(mm)2025405080100150
閥座直徑(mm)61520253240506580100125150
額定流量系數(shù)Kv3.2581020325080100160250400
壓力調(diào)節(jié)范圍0.5~70 20~120 60~400 300~700 500~1000 KPa
公稱壓力PN1.0、1.6 MPa
被調(diào)介質(zhì)溫度80、200 ℃
流量特性快開型
調(diào)節(jié)精度≤5%
允許壓降(MPa)1.61.61.10.60.4
薄膜有效面積(C㎡)200280400
允許泄漏量符合ANSIB16.104—1976 IV級(jí)
閥蓋形式標(biāo)準(zhǔn)型 (整體式)
壓蓋型式螺栓壓緊式
密封填料V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉紡織填料、石墨填料
閥芯形式單座型閥芯
流量特性直線性

超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù)

公稱通徑DN(mm)20253240506580100
額定流量
系數(shù)Kv
ZZCP/ZZVP81120325080100160
ZZCN



5383

額定行程(mm)68101520
公稱壓力PN(MPa)0.10 1.0
差壓調(diào)節(jié)范圍(kPa)0.5~5.5 5~10 9~14 13~19
18~24 22~28 26~33 31~38
36~44 42~51 49~58 56~66
64~78 76~90 8~100
介質(zhì)溫度(℃)≤ 80
調(diào)節(jié)精度(%)≤ 10
允許泄漏
量(l/h)
ZZCP/ZZVP10 -4 X閥額定容量(Ⅳ級(jí))
ZZCN5X10 -3 X閥額定容量( II級(jí))


規(guī)格重量

DN20253240506580100
A308394308394308394394394
HZZCP/ZZVP376465365445445490490510
ZZCN



536536

LZZCP/ZZVP150160180200230290310350
ZZCN



222222

重量 G(Kg)1213151720283843
導(dǎo)壓管螺紋接頭M16X1.5

超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例終端過(guò)濾工藝

氮封閥23.jpg

傳統(tǒng)的超純水系統(tǒng)常采用微米級(jí)精濾器,一般選用0.1μm/0.22μm微孔折疊膜濾芯過(guò)濾,以去除超純水中存在的細(xì)小微粒和細(xì)菌,攔截可能脫落的混床樹脂,保證產(chǎn)水水質(zhì)的穩(wěn)定。而在半導(dǎo)體行業(yè)中多采用超濾作為終端過(guò)濾器,其作用跟上述微濾相同,只是相關(guān)指標(biāo)要求更加嚴(yán)苛。一般要求能夠截留相當(dāng)于分子量6000Da的微小顆粒,有效去除絕大部分微污染物。

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五、超純水水箱氮封閥三件套應(yīng)用案例安裝注意事項(xiàng)
(1)安裝前,檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng),對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗,介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。
(2)為便于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)與操作,閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動(dòng)閥,閥組安裝方案。
(3)閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,閥體與管道的法塵連接,要注意同軸度,并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-25~55℃的場(chǎng)合使用。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥48.jpg

氮?dú)馐请y液化的氣體。氮?dú)庠跇O低溫下會(huì)液化成無(wú)色液體,進(jìn)一步降低溫度時(shí),更會(huì)形成白色晶狀固體。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻R环N超純水氮封裝置,包括氮?dú)夤?yīng)端、氮封水箱、純水供應(yīng)端,其特點(diǎn)在于;所述氮?dú)夤?yīng)端通過(guò)空氣減壓閥、電磁閥,將氮?dú)鈴牡馑涞妮斎肟谳斔偷降馑渲校凰龅馑溥€設(shè)有氮?dú)廨敵隹凇⒓兯敵隹冢凰龅獨(dú)廨敵隹凇⒓兯?yīng)端均與水封桶連接;所述氮封水箱氮?dú)鈮毫^(guò)高時(shí),氮?dú)廨敵隹谟脕?lái)將多余氮?dú)馔ㄟ^(guò)水封桶排出;所述純水輸出口通過(guò)壓力泵驅(qū)動(dòng),將純水輸送到用水端;所述經(jīng)用水端后的純水通過(guò)回水端、輸入口將回水送到氮封水箱中;所述純水供應(yīng)端也通過(guò)輸入口將純水輸送到氮封水箱中。這種超純水氮封裝置雖然具有節(jié)能、操作方便的有點(diǎn),但是超純水在氮封是還是存在被污染和耗氣量多的現(xiàn)象。

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